Plasmaätzen

Das Plasmaätzen ist eine Form der Plasmaverarbeitung, die zur Herstellung integrierter Schaltkreise verwendet wird. Dabei wird ein Hochgeschwindigkeitsstrom der Glimmentladung (Plasma) eines geeigneten Gasgemisches (in Impulsen) auf eine Probe geschossen. Die als Ätzspezies bekannte Plasmaquelle kann entweder geladen (Ionen) oder neutral (Atome und Radikale) sein..

1. Was wird zum Ätzen von Gas verwendet?
2. Was ist Sauerstoffplasmaätzen??
3. Was ist Oberflächenätzen??
4. Was ist Ätzen und seine Arten?
5. Was ist ein Nassätzprozess??
6. Was ist der Zweck des Ätzens??
7. Wenn die Ätzselektivität hoch ist, bedeutet dies?
8. Wofür wird Plasmaätzen verwendet??
9. Wie funktioniert die Plasma-Reinigung??
10. Was ist der Unterschied zwischen Gravur und Radierung??
11. Wie hörst du auf zu ätzen??
12. Was bedeutet Originalätzen??

Was wird zum Ätzen von Gas verwendet?

Verdünnungsgase

Edelgase wie Argon und Helium werden häufig verwendet, um ein Gasgemisch zu verdünnen. Dies kann durchgeführt werden, um die Ätzrate zu steuern oder um andere Aspekte des Ätzens zu verbessern. Zum Ätzen von Siliziumdioxid werden beispielsweise Fluorkohlenwasserstoffspezies verwendet, von denen bekannt ist, dass sie die Oberfläche auch mit Teflon passivieren.

Was ist Sauerstoffplasmaätzen??

Was ist Sauerstoffplasma? Sauerstoffplasma bezieht sich auf jede Plasmabehandlung, die durchgeführt wird, während Sauerstoff in die Plasmakammer eingeführt wird. Sauerstoff wird häufig verwendet, um Oberflächen vor dem Verkleben zu reinigen. Es kann auch mit anderen Gasen kombiniert werden, um eine Vielzahl von Materialien wie Kunststoff und Gummi zu ätzen.

Was ist Oberflächenätzen??

Das Plasmaoberflächenätzen ist eine Art von Plasmabehandlung, die verwendet wird, um die Oberfläche eines Materials im mikroskopischen Maßstab zu vergrößern. Die Oberfläche des Bauteils wird mit einem reaktiven Prozessgas geätzt. Material von der Oberfläche wird weggeätzt, in die Gasphase umgewandelt und durch das Vakuumsystem entfernt.

Was ist Ätzen und seine Arten?

Im Allgemeinen gibt es zwei Klassen von Ätzprozessen: Nassätzen, bei dem das Material beim Eintauchen in eine chemische Lösung gelöst wird. Trockenätzen, bei dem das Material unter Verwendung reaktiver Ionen oder eines Dampfphasenätzmittels gesputtert oder gelöst wird.

Was ist ein Nassätzprozess??

Definition. Das Nassätzen ist ein Materialentfernungsprozess, bei dem flüssige Chemikalien oder Ätzmittel verwendet werden, um Materialien von einem Wafer zu entfernen. ... (2) Die Reaktion zwischen dem flüssigen Ätzmittel und dem weggeätzten Material. Normalerweise tritt eine Reduktionsoxidationsreaktion (Redoxreaktion) auf.

Was ist der Zweck des Ätzens??

Das Ätzen wird verwendet, um die Mikrostruktur des Metalls durch selektiven chemischen Angriff freizulegen. Es entfernt auch die dünne, stark verformte Schicht, die beim Schleifen und Polieren entsteht. Bei Legierungen mit mehr als einer Phase erzeugt das Ätzen einen Kontrast zwischen verschiedenen Regionen durch Unterschiede in der Topographie oder im Reflexionsvermögen.

Wenn die Ätzselektivität hoch ist, bedeutet dies?

Hohe Selektivität ist ein relativer Begriff, um zu beschreiben, wann zwei Materialien mit signifikant unterschiedlichen Ätzraten ätzen, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Oft bezieht es sich auf Fälle, in denen die Maske im Vergleich zu dem mit dem Ätzen strukturierten Material langsam ätzt.

Wofür wird Plasmaätzen verwendet??

Plasmaätzen wird verwendet, um eine Oberfläche im mikroskopischen Maßstab aufzurauen. Die Oberfläche des Bauteils wird üblicherweise mit einem reaktiven Prozessgas geätzt, das sowohl eine chemische als auch eine physikalische Wirkung auf die Oberfläche hat.

Wie funktioniert die Plasma-Reinigung??

Die Plasma-Reinigung entfernt organische Verunreinigungen durch chemische Reaktion oder physikalische Ablation von Kohlenwasserstoffen auf behandelten Oberflächen. Chemisch reaktive Prozessgase (Luft, Sauerstoff) reagieren mit Kohlenwasserstoffmonoschichten unter Bildung gasförmiger Produkte, die vom kontinuierlichen Gasstrom in der Plasma-Reinigerkammer weggespült werden.

Was ist der Unterschied zwischen Gravur und Radierung??

Der Hauptunterschied zwischen ihnen besteht darin, dass das Gravieren ein physikalischer Prozess ist und das Ätzen ein chemischer Prozess. Ein Graveur schneidet mit scharfen Werkzeugen Linien direkt in eine Oberfläche, während ein Radierer Linien mit Säure in eine Oberfläche brennt.

Wie hörst du auf zu ätzen??

Durch Ätzen beschädigte Glaswaren können nicht repariert, aber gestoppt werden. Versuchen Sie, die Menge oder Art des verwendeten Waschmittels zu ändern. Versuchen Sie auch, die Temperatur des einströmenden Wassers zu überprüfen. Gehen Sie zu einem Wasserhahn in der Nähe des Geschirrspülers und schalten Sie das heiße Wasser etwa 45 Sekunden lang ein oder bis das Wasser heiß wird.

Was bedeutet Originalätzen??

Radierung ist ein altes Medium und wurde im ersten Viertel des 16. Jahrhunderts in Deutschland perfektioniert. Das Bild für eine Radierung wird auf einer Metallplatte erstellt. ... Die Tinte wird von einer speziellen Ätzpresse gewaltsam auf das Papier übertragen. Wenn das Papier von der Platte entfernt wird, ist eine Originalätzung zu sehen.